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申请/专利权人：湘潭大学
摘要：本发明提供了一种氧化铪基铁电薄膜及其制备方法，属于铁电存储器技术领域。本发明的氧化铪基铁电薄膜自下而上依次为衬底、底部电极、氧化铪铁电层和顶部电极，其中底部电极和顶部电极为铝掺杂氧化锌电极。本发明通过改变半导体电极铝掺杂氧化锌电极AZO中Al的掺杂量，能够调节电极中氧空位缺陷的含量和分布，在退火过程中减少电极氧空位对氧化铪基铁电薄膜的影响，有效优化氧化铪基铁电薄膜的铁电性能和抗疲劳性能，有望满足先进铁电存储器的发展需求。
主权项：1.一种氧化铪基铁电薄膜，其特征在于，所述氧化铪基铁电薄膜自下而上依次为衬底、底部电极、氧化铪铁电层和顶部电极；所述底部电极和顶部电极为铝掺杂氧化锌电极。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 湘潭大学 一种氧化铪基铁电薄膜及其制备方法
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