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申请/专利权人：朗姆研究公司
摘要：一种用于衬底处理系统的衬底支撑件包含：基板；陶瓷层，其被配置在所述基板上；以及承载环，其被配置在所述陶瓷层上。所述陶瓷层具有第一外径，所述承载环具有小于所述第一外径的第二外径，所述陶瓷层包含肩部，所述肩部从所述承载环的第二外径延伸至所述第一外径，且所述肩部朝向所述第一外径向下倾斜。
主权项：1.一种用于衬底处理系统的衬底支撑件，所述衬底支撑件包括：陶瓷层，所述陶瓷层被配置在基板上，其中：所述陶瓷层包括第一外径、第二外径和第三外径，并且所述陶瓷层的所述第一外径限定配置成支撑衬底的支撑表面；所述陶瓷层的所述第二外径大于所述第一外径，所述第二外径从所述第一外径径向向外布置，基本平坦的表面限定在所述第一外径和所述第二外径之间，并且所述基本平坦的表面配置成支撑边缘环；所述陶瓷层的所述第三外径大于所述第二外径；和在所述第二外径和所述第三外径之间设置肩部，所述肩部的至少一部分从所述陶瓷层的所述第二外径径向向外和向下延伸到所述陶瓷层的所述第三外径，并且所述肩部被配置成促进在所述肩部上发生材料堆积。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 朗姆研究公司 用于衬底处理系统的缩小直径承载环硬件
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