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申请/专利权人：中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司
摘要：本申请公开一种使用电解尾气制备NF3电解液的方法及装置，该方法为：将含有氟化氢的三氟化氮尾气通入冷凝器中，在冷凝器中气态氟化氢凝华为固态氟化氢，其余尾气组分仍为气态，经处理后放空。在重力作用下，固态氟化氢通入液化器中，转变为液态氟化氢；随后液态氟化氢通入氟化氢回收装置中，通过测定溶液成分，判断该溶液是否通入电解槽，作为电解液使用。本申请还提供上述回收方法使用的回收装置，包括冷凝器、液化器、氟化氢回收装置、转料泵和三氟化氮电解槽；本申请可实现三氟化氮电解尾气中氟化氢的回收利用，具有控制生产成本，减轻环保压力的优势。
主权项：1.一种使用电解尾气制备NF3电解液的方法，其特征在于，包括如下的步骤：S1、将含有氟化氢的三氟化氮电解槽尾气的通入冷凝器中；冷凝器温度为-80～-60℃，尾气中的氟化氢凝华为固态氟化氢，在重力作用下，将氟化氢固体转移至液化器中，轻杂质经废气处理后放空；S2、固态氟化氢通入液化器中进行液化并固液分离，液态氟化氢在重力作用下进入液相空间，并转移至氟化氢回收装置中；S3、待S2中的氟化氢回收装置液位达到指定液位时，停止转移，对氟化氢回收装置内的溶液进行分析，当溶液中氟化氢铵和氟化氢的质量比＞14:1时，通过混料槽向氟化氢回收装置内通入气态氟化氢，并控制氟化氢回收装置的温度为90～130℃，直至溶液中氟化氢铵和氟化氢质量比为10～14:1，得到电解液，并开启氮气吹扫，将混料槽内未反应的氟化氢气体吹扫至冷凝器中回收使用；S4、S3中通入气态氟化氢配置电解液过程中，氟化氢回收装置放空为常开状态，未反应的氟化氢气体通过放空管线回到冷凝器中，重复上述回收过程。S5、将S4中的氟化氢回收装置内的电解液通过转料泵通入三氟化氮电解槽中，供电解使用。
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权利要求：
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