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用于近红外光屏蔽膜的铯钨青铜薄膜及其制备方法 

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申请/专利权人:郑州大学;中原关键金属实验室

摘要:本发明实施例公开了用于近红外屏蔽膜的铯钨青铜薄膜及其制备方法;方法包括,以铯钨青铜靶材为溅射靶材,以平面基材为基底,在磁控溅射装置内进行溅射镀膜,在基底材料得到铯钨青铜薄膜,对铯钨青铜薄膜进行热处理,得到用于近红外屏蔽膜的铯钨青铜薄膜,其中,热处理温度设置在200~450℃之间。热处理为在溅射镀膜过程中,对基底进行加热,热处理过程与溅射成膜过程同步进行;或者在溅射镀膜结束后,对得到的铯钨青铜薄膜进行热处理。得到的可见光透过率高、近红外光阻隔率高、紫外阻隔率高的高质量铯钨青铜薄膜作为应用于近红外屏蔽膜的铯钨青铜薄膜,还能制作成铯钨青铜薄膜基复合膜;在近红外屏蔽膜领域有良好应用前景。

主权项:1.用于近红外屏蔽膜的铯钨青铜薄膜的制备方法,其特征在于,以铯钨青铜靶材为溅射靶材,以平面基材为基底,在磁控溅射装置内进行溅射镀膜,在基底材料得到铯钨青铜薄膜,对铯钨青铜薄膜进行热处理,得到用于近红外屏蔽膜的铯钨青铜薄膜,其中,热处理温度设置在200~450℃之间。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 郑州大学 中原关键金属实验室 用于近红外光屏蔽膜的铯钨青铜薄膜及其制备方法

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