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申请/专利权人：苏州赛米肯分析技术有限公司
摘要：本发明公开了一种ICP‑MSMS法直接测定半导体发烟硝酸中痕量金属杂质的方法，采用ICP‑MSMS法检测硝酸中Li、Ca、Pb等20种金属。具体包含以下步骤：（1）500毫升PFA瓶的清洗；（2）100毫升PFA瓶的清洗；（3）清洗仪器设备；（3）使用无气体、冷焰氨气和氦气三种模式，通过标准加入法，20种元素均小于1ngL。本发明方法解决了传统ICP‑MS干扰消除能力有限，需要加热蒸发和复溶等复杂前处理后，才能测试硝酸1ngL以下金属含量的问题。相对于现有技术，本发明方法更直接、更简单、污染更少、更稳定、对人员要求更低、检出限更低，可以准确而稳定测试最先进纳米制程用高纯硝酸，且操作简单、样品通量大、测试效率高、测试成本低、维护成本低、易于方法转移和标准化等。
主权项：1.一种ICP-MSMS法直接测定半导体发烟硝酸中痕量金属的方法，其特征在于：采用Semi-G5半导体硝酸反复浸泡清洗100mL和500ml规格的PFA瓶后，使用500毫升PFA瓶装入Semi-G5半导体硝酸在线清洗ICP-MSMS进样系统和Pt锥口系统，使用100毫升PFA装入半导体发烟硝酸，采用三重四级杆电感耦合等离子体串联质谱法（ICP-MSMS）同时检测半导体发烟硝酸中Li、Be、Na、Mg、Al、K、Ca、Ti、V、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zn、Sn、Sb、Pb、Bi等20种痕量金属杂质的含量。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州赛米肯分析技术有限公司 一种ICP-MSMS法直接测定半导体发烟硝酸中痕量金属的方法
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