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申请/专利权人:重庆理工大学
摘要:本发明公开了一种MXenen‑Ge高速宽带自供电光电探测器的制作方法,获取Ti3C2Tx胶体溶液,以及掺有Sb的n‑Ge衬底,清除n‑Ge衬底表面杂质,然后将Ti3C2Tx胶体溶液覆在n‑Ge衬底上,在室温下干燥至恒重后形成Ti3C2Tx膜层使得Ti3C2Tx膜层与n‑Ge衬底形成肖特基异质结。本发明还公开了一种通过上述方法制得而成的MXenen‑Ge高速宽带自供电光电探测器,该探测器结构简单,工作稳定,检测效果好,响应时间极快,精度和可靠性高,还具有体积小、重量轻的优点,另外传感器制作容易,成本低廉。
主权项:1.一种MXene-Ge高速宽带自供电光电探测器的制作方法,其特征在于:包括:获取Ti3C2Tx胶体溶液,以及掺有Sb的n-Ge衬底,清除n-Ge衬底表面杂质,然后将Ti3C2Tx胶体溶液覆在n-Ge衬底上,在室温下干燥至恒重后形成Ti3C2Tx膜层使得Ti3C2Tx膜层与n-Ge衬底形成肖特基异质结。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 重庆理工大学 MXene/n-Ge高速宽带自供电光电探测器的制作方法及探测器
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