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申请/专利权人：欧中电子材料(重庆)有限公司
摘要：本发明提供了一种脱除氟气中HF的方法及装置，其方法为：将从电解池中制得的氟气通入冷凝器体中，低温一次冷凝处理脱除氟气中含有的90％的HF，将经冷凝处理后的氟气通入纯化器组，利用NaF吸附剂对HF的化学吸附性除去氟气中的HF，当NaF吸附剂吸附能力饱和后，对NaF吸附剂进行高温活化再生处理，对NaF吸附剂再生过程产生的氟气和HF进行尾气处理。其装置包括电解池、冷凝器组、纯化器组、F2集气瓶、放空反应器、一级水洗塔、碱洗塔、二级水洗塔及排气装置。本发明工艺方法合理，装置设备结构合理，操控性能和安全性能可靠，可实现连续性生产和联锁自控。
主权项：1.一种脱除氟气中HF的方法，其特征在于：包括以下步骤：步骤A：按纯镍管填料:NaF吸附剂的体积比准备用于吸附氟气中的HF的物料；步骤B：将电解产生的含有HF的氟气经低温冷凝处理脱除氟气中的第一份额的HF；步骤C：将步骤B中所述经低温冷凝处理脱除氟气中的第一份额的HF后的氟气采用步骤A中所述物料中的NaF吸附剂吸附第二份额的HF，先后进行第一次纯化处理和第二次纯化处理得到纯化后的氟气；步骤D：当步骤C中所述NaF吸附剂吸附HF能力饱和后，对NaF吸附剂进行升温活化再生处理，重复步骤B～步骤C的操作；其中，所述步骤D具体包括：步骤D1：将步骤C中的被第一次纯化处理和第二次纯化处理后的NaF吸附剂的温度升至250～400℃，并用氮气逆向置换吹扫经过第一次纯化处理和第二次纯化处理后的NaF吸附剂，此后使NaF吸附剂冷却至环境温度；步骤D2：使步骤D1中用氮气逆向置换吹扫NaF吸附剂后随氮气置换出的含有HF的氟气和炭进行反应；步骤D3：用水第一次喷淋步骤D2的反应产物中的HF，检测HF的浓度；步骤D4：用KOH或NaOH碱液喷淋经步骤D3处理后残留的HF，检测喷淋HF后KOH或NaOH的浓度；步骤D5：用水第二次喷淋经步骤D4处理后残留的HF，检测HF的浓度，HF的浓度满足技术标准后直接排放。
全文数据：
权利要求：
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