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申请/专利权人：佳能株式会社
摘要：本发明公开了曝光装置、曝光方法、决定方法和物品制造方法。曝光装置包括照明光学系统和用于利用来自照明光学系统的光形成投影图像的投影光学系统。照明光学系统在该照明光学系统的光瞳平面上形成包括第一区域和第二区域的发光区域。从包括由来自第一区域的第一光形成的第一图像和由来自第二区域的第二光形成的第二图像的图像合成投影图像。第一光和或第二光是宽带光。第二图像中由散焦引起的线宽的增加减小变化相对于第一图像中由散焦引起的线宽的增加减小变化具有不同的符号，并且通过合成第一图像和第二图像而获得的图像中由散焦引起的线宽的增加减小变化减小。
主权项：1.一种曝光装置，其特征在于，包括照明光学系统以及被配置为利用从照明光学系统提供的光在基板上形成投影图像的投影光学系统，其中在该照明光学系统的光瞳平面上形成包括第一区域和第二区域的发光区域，从包括由来自第一区域的第一光形成的第一图像和由来自第二区域的第二光形成的第二图像的多个图像合成投影图像，第二图像中由散焦引起的线宽的增加减小变化相对于第一图像中由散焦引起的线宽的增加减小变化具有不同的符号，第一区域和第二区域中的每一个都具有环形形状，第一区域包括布置在第二区域内侧的区域，以及，第二光的波长范围具有比第一光的波长范围的最大波长更长的波长。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 佳能株式会社 曝光装置、曝光方法、决定方法和物品制造方法
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