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申请/专利权人：苏州迈为科技股份有限公司
摘要：本发明公开了一种硅片抽放定位装置及转送系统，属于硅片制造设备技术领域。本发明的一种硅片抽放定位装置，其包括抽放机构和定位机构，抽放机构包括抽放件、驱动机构和滑轨，定位机构的定位台上设有多个定位工位；驱动机构驱动抽放件在滑轨上沿着第一方向移动，同时抽放件的真空吸盘与定位台在第二方向上相对移动，从而将硅片放置在定位台沿着第一方向排列的不同定位工位内，完成对花篮内多个硅片的抽放定位，避免了硅片与抽放定位装置之间的接触摩擦，从而防止了硅片在抽放定位过程中发生损害而降低所制备的太阳能电池的发电效率。本方案的硅片转送系统使用方便，硅片在转送过程中不易发生损坏，有助于硅片良率的提高。
主权项：1.一种硅片抽放定位装置，用于将花篮（110）内的硅片（500）取出，其特征在于：包括，定位机构（300），所述定位机构（300）的定位台（310）上沿第一方向排列设置有多个定位工位（320）；所述定位机构（300）还包括顶升件（330），所述定位台（310）设置在顶升件（330）的运动端上；抽放机构（400），所述抽放机构（400）包括抽放件（410）、滑轨（420）和驱动机构（430），所述抽放件（410）上设置有真空吸盘（411）；所述滑轨（420）沿第一方向设置；所述硅片抽放定位装置被配置为：所述驱动机构（430）驱动抽放件（410）在所述滑轨（420）上移动，且所述真空吸盘（411）与所述定位台（310）能够在第二方向上相对移动，以将硅片（500）放置在不同的所述定位工位（320）上；还包括升降机构，所述升降机构用于驱动所述抽放机构（400）相对于定位机构（300）沿第二方向运动；所述定位台（310）包括第一定位件（311）和第二定位件（312），所述第一定位件（311）和第二定位件（312）的上侧面被配置在同一平面内，且所述第一定位件（311）和第二定位件（312）位于滑轨（420）的两侧。
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权利要求：
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