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申请/专利权人：欧瑞康表面处理解决方案股份公司普费菲孔
摘要：一种要用在真空处理系统的真空室16内的夹具系统，包括：主轴1，在此被称为太阳轮2的齿轮，在此被称为辊子3的圆柱形物体，其显示出允许该齿轮与之啮合以使该圆柱形物体旋转的性能，保持板4，其中，所述太阳轮2和辊子3被制造为允许太阳轮2与辊子3啮合而使之旋转。
主权项：1.一种夹具系统，用在真空处理系统的真空室16内，包括：-主轴1，-齿轮，在此被称为太阳轮2，-圆柱形物体，其显示出允许该齿轮与之啮合以使所述圆柱形物体旋转的性能，在此被称为辊子3，-保持板4，该保持板4被安装至该主轴1，该太阳轮2可转动安装至该主轴1，并在工作期间被外部锁定，使得该主轴1不使该太阳轮2旋转，并且该辊子3被安装到该保持板4并提供允许将工件座安装至该辊子3的措施，其特征是，-该保持板4包括中心部9，其位于平面B内，其中，该平面B的法线N平行于该主轴1的旋转轴线，其中，该保持板4包括在臂纵向11上延伸的臂10，其中，该臂10被附接至该中心部9，其中，该臂纵向11从该中心部9径向朝外，其中，该臂10位于该平面B内，其中，该保持板4包括在手纵向13上延伸的手12，其中，该手12被附接至该臂10，其中，该手纵向13关于该臂纵向11显示出在50°和130°之间的角度，其中，该手12关于该平面B的法向N显示出20°至70°的倾斜，其中，该手12包括允许将该辊子3安装至该手12的措施，并且，-该太阳轮2和该辊子3被制造为允许该太阳轮2与该辊子3啮合且由此使其旋转。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 欧瑞康表面处理解决方案股份公司普费菲孔 在PVD工艺中用于圆柱、长形基材的夹具
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