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申请/专利权人：东南大学
摘要：本发明公开了一种多入射角快速切换的高速光谱型双光梳椭偏测量仪器，包括双光梳产生模块、第一光开关模块、第一准直模块组件、第二准直模块组件、样品支架、样品台、第二光开关等；该方案基于高速光谱型双光梳椭偏测量原理，利用光开关模块在亚微秒时间内快速切换信号光与本振光的入射角，既显著缩短了传统椭偏仪机械调节入射角与反射角的时间，又避免了传统椭偏仪机械调节角度过程中引入的系统误差，并且能够在不同入射角的情况下以微秒级到纳秒级时间内对样品进行椭偏测量，最终反演推算出薄膜的光学折射率、消光系数、厚度。整体结构简单、成本低、稳定可靠、测量速度快，适用于半导体薄膜制备过程的动态监测，能够实时掌握薄膜状态。
主权项：1.一种多入射角快速切换的高速光谱型双光梳椭偏测量仪器，其特征在于，所述测量仪器包括双光梳产生模块、第一光开关模块、第一准直模块组件、第二准直模块组件、半圆形刻度板、样品支架、样品台、第二光开关模块、光纤合束器、光纤偏振分束器、光电探测模块以及数据处理系统，其中样品支架设置在样品台上，半圆形刻度板设置在样品台边缘，双光梳产生模块、第一光开关模块、第一准直模块组件、第二准直模块组件、第二光开关模块、光纤合束器、光纤偏振分束器、光电探测模块之间通过保偏光纤线缆连接，数据处理系统11与光电探测模块10之间、数据处理系统11与第一光开关模块2、数据处理系统11与第二光开关模块7之间用绝缘电缆相连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东南大学 一种多入射角快速切换的高速光谱型双光梳椭偏测量仪器
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