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申请/专利权人：国网江苏省电力有限公司电力科学研究院;国网江苏省电力有限公司;国家电网有限公司;江苏省电力试验研究院有限公司;上海大学
摘要：本发明涉及声波测量技术领域，尤其涉及一种基于法布里‑珀罗原理的声压传感器及其制造方法，包括：套筒，套筒包括一喇叭形腔体；光纤，固定设置于套筒上，且位于喇叭形腔体开口较小的一端，光纤在喇叭形腔体内的一端包括第一反射面；阵列膜片，固定设置于套筒上，且位于喇叭形腔体开口较大的一端，阵列膜片在喇叭形腔体内侧的一端包括第二反射平面；阵列膜片在第二反射面的另一端设置有若干凸起，若干凸起阵列设置于膜片表面。本发明中，阵列膜片在第二反射面的另一端设置有若干凸起，这些凸起阵列设置于膜片表面。这些凸起的设计有助于增加声波作用下膜片的挠度变化，放大了外界声压对受压膜片中心点挠度的影响，从而增强传感器的灵敏度。
主权项：1.一种基于法布里-珀罗原理的声压传感器，其特征在于，包括：套筒，所述套筒包括一喇叭形腔体；光纤，所述光纤固定设置于所述套筒上，且位于所述喇叭形腔体开口较小的一端，所述光纤在所述喇叭形腔体内的一端包括第一反射面；阵列膜片，所述阵列膜片固定设置于所述套筒上，且位于所述喇叭形腔体开口较大的一端，所述阵列膜片在所述喇叭形腔体内侧的一端包括第二反射平面，所述第一反射面与第二反射面之间形成法布里-珀罗腔；所述阵列膜片在所述第二反射面的另一端设置有若干凸起，若干所述凸起阵列设置于膜片表面。
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权利要求：
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