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申请/专利权人：中国科学院半导体研究所
摘要：本公开提供了一种环形结构酒杯模态射频微机电谐振器，包括：工作在酒杯模态下的呈环形结构的谐振单元；支撑单元，与所述谐振单元的位移节点耦合，用于支撑所述谐振单元悬空；电极，设置于所述谐振单元外围；其中，所述电极与所述谐振单元具有一间隙层，用于所述谐振单元与所述电极之间的机电转换。所述环形结构酒杯模态射频微机电谐振器相比于现有技术的谐振器，热弹性损耗更低，Q值更高，插入损耗更低、高频率稳定性更高，放宽了后级放大电路的增益需求，系统功耗及噪声更低，器件尺寸更小，更有利于器件大规模低成本生产，可用于构建射频系统中的多种高性能射频器件，具备广阔的应用前景。
主权项：1.一种环形结构酒杯模态射频微机电谐振器，其特征在于，包括：谐振单元，呈环形结构；其中，所述谐振单元工作在酒杯模态下，做互为反相的收缩和扩张运动，其中，所述谐振单元为圆环形结构或者方形环形结构，所述谐振单元包括外边缘和内边缘；所述外边缘形状包括正多边形、圆形、椭圆形中的至少一种；所述内边缘形状包括正多边形、圆形、椭圆形中的至少一种；所述谐振单元上设置有呈轴对称分布的调节孔；其中，所述调节孔内不填充材料、部分填充材料或全部填充材料；支撑单元，与所述谐振单元的位移节点耦合，用于支撑所述谐振单元悬空；电极，设置于所述谐振单元外围；其中，所述电极与所述谐振单元具有一间隙层，用于所述谐振单元与所述电极之间的机电转换。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院半导体研究所 环形结构酒杯模态射频微机电谐振器
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