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一种基于图像锐度评价的编码掩膜测距及成像方法和装置 

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申请/专利权人:清华大学

摘要:本公开涉及一种基于图像锐度评价的编码掩膜测距及成像方法和装置,包括:基于目标编码掩膜成像系统,确定目标对象对应的编码图案;对编码图案进行数字聚焦,确定多个初始重建图像;针对任意一个初始重建图像,根据图像锐度信息评价函数,确定该初始重建图像对应的锐度评价结果;根据每个初始重建图像对应的锐度评价结果,确定目标对象对应的测距结果;根据目标对象对应的测距结果和编码图案,确定目标对象对应的目标重建图像。通过本公开实施例,可以在无需标定和多次测量的情况下,仅根据单张编码图案,灵活地确定目标对象对应的测距结果,并根据测距结果实现自动聚焦,进行高分辨率图像重建,提高了目标编码掩膜成像系统的实用性和实时性。

主权项:1.一种基于图像锐度评价的编码掩膜测距及成像方法,其特征在于,包括:基于目标编码掩膜成像系统,确定目标对象对应的编码图案;对所述编码图案进行数字聚焦,确定多个初始重建图像;针对任意一个初始重建图像,根据图像锐度信息评价函数,确定该初始重建图像对应的锐度评价结果;根据每个初始重建图像对应的锐度评价结果,确定所述目标对象对应的测距结果;根据所述目标对象对应的测距结果和所述编码图案,确定所述目标对象对应的目标重建图像。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 清华大学 一种基于图像锐度评价的编码掩膜测距及成像方法和装置

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