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一种纯蚀刻制作波导缝隙阵列PCB天线的方法 

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申请/专利权人:昆山沪利微电有限公司

摘要:本发明公开了一种纯蚀刻制作波导缝隙阵列PCB天线的方法,包括以下步骤:步骤a,将波导铜基材两面粗化处理后压干膜,步骤b,通过曝光底片对干膜进行曝光;步骤c,曝光后除去波导铜基材上未曝光位置干膜,然后让波导铜基材经过蚀刻线,蚀刻出波导铜基材上孔和波导缝隙;步骤d,蚀刻后去除导铜基材上曝光位置干膜,干膜去除后形成单层波导天线;步骤e,单层波导天线经过缝隙天线检验后,将多层不同的单层波导天线经机械组装后形成波导缝隙天线PCB。本发明提供的一种纯蚀刻制作波导缝隙阵列PCB天线的方法,能够解决传统PVD工艺制作间隙波导存在的低效率和高能耗以及高成本问题。

主权项:1.一种纯蚀刻制作波导缝隙阵列PCB天线的方法,其特征在于:包括以下步骤:步骤a,将波导铜基材两面粗化处理后压干膜,步骤b,通过曝光底片对干膜进行曝光;步骤c,曝光后除去波导铜基材上未曝光位置干膜,然后让波导铜基材经过蚀刻线,蚀刻出波导铜基材上孔和波导缝隙;步骤d,蚀刻后去除导铜基材上曝光位置干膜,干膜去除后形成单层波导天线;步骤e,单层波导天线经过缝隙天线检验后,将多层不同的单层波导天线经机械组装后形成波导缝隙天线PCB。

全文数据:

权利要求:

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