龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：松诺盟科技有限公司
摘要：本发明公开了一种纳米薄膜高温绝压压力传感器，包括传感器组件和桥臂，所述桥臂可拆卸的安装在所述传感器组件内，所述桥臂的表面设置有多层由纳米尺度的颗粒或结构组成的膜层，多层所述膜层从里到外依次为过渡层、绝缘层、应变层、焊盘层和保护层。本申请中压力测量采用纳米镀膜技术，将测量电路直接原子级生成在桥臂上，实现精确测量，并通过优化膜层材料，实现耐高温测量，满足400℃及以下环境的使用要求。
主权项：1.一种纳米薄膜高温绝压压力传感器，包括传感器组件和桥臂（4），所述桥臂（4）可拆卸的安装在所述传感器组件内，其特征在于，所述桥臂（4）的表面设置有多层由纳米尺度的颗粒或结构组成的膜层（5），多层所述膜层（5）从里到外依次为过渡层（13）、绝缘层（14）、应变层（15）、焊盘层（16）和保护层（17）；所述过渡层（13）采用氮化钽材料，用于匹配镍基合金InconelX-750与所述绝缘层（14）的热失配系数，所述过渡层（13）厚度为50-200nm；所述绝缘层（14）采用高介电常数材料，所述绝缘层（14）厚度为0.5-6um；所述应变层（15）采用优化Ni-Cr材料：NiCrAlMnSiTa，质量分数优选Ni69%、Cr16%、Al3%、Mn7%、Si0.8%和Ta4.2%，所述应变层（15）的膜层厚度为50-300nm；所述焊盘层（16）采用金材料，所述焊盘层（16）的膜层厚度为0.5-5um；所述保护层（17）采用高介电常数材料，所述保护层（17）的膜层厚度为0.5-50um；所述传感器组件包括有外壳（9）、真空腔体（6）和封压盖（7），所述封压盖（7）可拆卸的安装在所述真空腔体（6）顶部的开口处，所述真空腔体（6）设置在所述外壳（9）内，所述真空腔体（6）与所述封压盖（7）内壁镀有真空吸附剂。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 松诺盟科技有限公司 一种纳米薄膜高温绝压压力传感器
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号