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申请/专利权人:黄石全洋光电科技有限公司;旭动应用材料(上海)有限公司
摘要:本发明涉及金属掩膜版技术领域,尤其是一种利用介质加工大尺寸金属掩膜版的张网机,包括金属掩膜版网框,所述金属掩膜版网框的上表面设有薄板,所述薄板上设有多个金属掩膜版,多个所述金属掩膜版上设有多个定位孔,所述金属掩膜版网框的外部四周均设有夹持组件,所述夹持组件包括对称设置于所述金属掩膜版网框外部四周的两组直线伺服电机,两组所述直线伺服电机的上端均固定连接有滑动座,所述滑动座上设有若干伺服夹爪,所述金属掩膜版网框的上方设有点焊组件。本发明利用介质加工大尺寸金属掩膜版的张网机通过薄板介质将多个金属掩膜版的拼接后进行镭射点焊固定,可以有效进行不同大规格金属掩膜版产品的制作。
主权项:1.一种利用介质加工大尺寸金属掩膜版的张网机,包括金属掩膜版网框1,其特征是:所述金属掩膜版网框1的上表面设有薄板2,所述薄板2上设有多个金属掩膜版3,所述金属掩膜版3上设有多个定位孔4,所述金属掩膜版网框1的外部四周均设有夹持组件5,所述金属掩膜版网框1的上方设有点焊组件6。
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