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申请/专利权人：爱美克空气过滤器(苏州)有限公司
摘要：本发明涉及一种除DMS的过滤材料以及过滤器滤芯。本发明的除DMS的过滤材料由基材和高锰酸钾混合制成，按质量百分比计算，所述基材的含量占87.5％‑91％，所述高锰酸钾的含量占9‑12.5％。基于高锰酸钾与DMS反应生成二甲基亚砜这一化学反应，采用高锰酸钾作为滤料的主要反应成分对由半导体制造产生的DMS进行去除，其去除效率高达94.1％，解决了DMS影响器件性能、导致晶圆废弃等问题。
主权项：1.一种除DMS的过滤材料，其特征在于，所述过滤材料由基材和高锰酸钾混合制成，按质量百分比计算，所述基材的含量占87.5％-90.5％，所述高锰酸钾的含量占9.5-12.5％，其中，所述基材为多孔介质的Al2O3。
全文数据：
权利要求：
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