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真空泵及决定罗茨转子的形状的方法 

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申请/专利权人:株式会社荏原制作所

摘要:提供一种粉体难以夹在罗茨转子间,能够维持罗茨转子的顺利的旋转的真空泵及决定罗茨转子的形状的方法。第一罗茨转子8及第二罗茨转子9分别具有:具有由渐开线曲线构成的形状的渐开线侧面31、与渐开线侧面31的外侧端部连接的圆弧凸面34、以及与渐开线侧面31的内侧端部连接的圆弧凹面36,圆弧凸面34的曲率半径R1比圆弧凹面36的曲率半径R2小。

主权项:1.一种真空泵,其特征在于,具备:泵壳体,该泵壳体在内部具有至少一个转子室;以及第一罗茨转子及第二罗茨转子,该第一罗茨转子及第二罗茨转子在所述转子室内并排配置,所述第一罗茨转子及所述第二罗茨转子分别具有:具有由渐开线曲线构成的形状的渐开线侧面、与所述渐开线侧面的外侧端部连接的圆弧凸面、以及与所述渐开线侧面的内侧端部连接的圆弧凹面,所述圆弧凸面的曲率半径比所述圆弧凹面的曲率半径小。

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权利要求:

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