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申请/专利权人：芯联先锋集成电路制造(绍兴)有限公司
摘要：本实用新型提供一种抛光垫、抛光平台和化学机械抛光装置，抛光垫包括：抛光垫主体，所述抛光垫主体具有彼此相对的第一表面和第二表面，所述第一表面为抛光加工表面，所述第二表面上设置有第一结合部，所述第一结合部用于与化学机械抛光装置的抛光平台的第二结合部配合连接，所述第一结合部为内凹槽或凸起；第一磁性件，设置于所述第一结合部内；所述抛光垫的所述第二表面配置为通过所述第一磁性件吸附设置于所述抛光平台上。本申请中抛光垫与抛光平台之间通过磁吸连接，更换十分轻松方便，更换过程简单，耗时短，效率高，能够保证抛光垫的更换质量，减少其他因素带来的不稳定性。
主权项：1.一种抛光垫，应用于化学机械抛光装置，其特征在于，所述抛光垫包括：抛光垫主体，所述抛光垫主体具有彼此相对的第一表面和第二表面，所述第一表面为抛光加工表面，所述第二表面上设置有第一结合部，所述第一结合部用于与化学机械抛光装置的抛光平台的第二结合部配合连接，所述第一结合部为内凹槽或凸起；第一磁性件，设置于所述第一结合部内；所述抛光垫的所述第二表面配置为通过所述第一磁性件吸附设置于所述抛光平台上。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 芯联先锋集成电路制造(绍兴)有限公司 抛光垫、抛光平台和化学机械抛光装置
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