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申请/专利权人：四川永祥新能源有限公司
摘要：本实用新型公开了一种节能型冷却结构还原炉，属于多晶硅还原炉技术领域，包括炉筒，所述炉筒的内壁为采用高纯石英材料制成的内层，炉筒外侧依次包括中间层和外壳，炉筒的内壁与中间层之间为通有气体的隔热腔室层，中间层与外壳之间为通有冷却流体介质的第二腔室层，炉筒下部设有连通隔热腔室层的进气口和连通第二腔室层的流体进口，炉筒上部设有连通隔热腔室层的气体出口和连通第二腔室层的流体出口，该新型节能型冷却结构还原炉可以有效降低还原电耗，达到节能降耗的目的，也能明显降低多晶硅的生产成本。
主权项：1.一种节能型冷却结构还原炉，包括炉筒（1），其特征在于：所述炉筒（1）的内壁（2）为采用高纯石英材料制成的内层，炉筒（1）外侧依次包括中间层（3）和外壳（4），炉筒（1）的内壁（2）与中间层（3）之间为通有气体的隔热腔室层（5），中间层（3）与外壳（4）之间为通有冷却流体介质的第二腔室层（6），炉筒（1）下部设有连通隔热腔室层（5）的进气口（7）和连通第二腔室层（6）的流体进口（8），炉筒（1）上部设有连通隔热腔室层（5）的气体出口（9）和连通第二腔室层（6）的流体出口（10）。
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权利要求：
百度查询： 四川永祥新能源有限公司 一种节能型冷却结构还原炉
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