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申请/专利权人：北京金竟科技有限责任公司

摘要：本实用新型的一种用于扫描电镜的低温恒温器，包括：进气管第一端通过冷端换热器与冷端连，冷端与回气管第一端连，回气管套在进气管和冷端换热器外；第一和第二真空部均套在回气管外；第一真空部第一端与真空腔室外壁连，其第二端与第二真空部第一端连，第二真空部第二端伸出回气管第二端并与进气管上靠近第二端处连；排气管第一端穿过第二真空部和回气管的外壁与回气管上靠近第二端处连，排气管第二端向外伸出第二真空部外壁；第三真空部通过隔热部与排气管外壁连，第三真空部套在隔热部外壁上，隔热部套在排气管外壁上第三真空部第一端与第二真空部外壁连，第三真空部第二端和排气管第二端均与隔热部的第一端连，隔热部第二端设在第三真空部内。

主权项：1.一种用于扫描电镜的低温恒温器，其特征在于，包括：进气管1、冷端换热器2、冷端3、回气管4、排气管5、第一真空部6、第二真空部7、第三真空部8以及隔热部9；其中，所述进气管1的第一端通过所述冷端换热器2与所述冷端3连接，所述冷端3与所述回气管4的第一端连接，所述回气管4套设在所述进气管1和所述冷端换热器2的外部；所述进气管1用于供液态气体进入；所述冷端换热器2用于供所述液态气体与所述冷端3进行热交换；所述回气管4用于供所述热交换产生的气态气体排出；所述进气管1的所述第一端、所述冷端换热器2、所述冷端3以及所述回气管4的所述第一端均用于放置在所述扫描电镜的真空腔室内；所述第一真空部6和所述第二真空部7均套设在所述回气管4的外部；所述第一真空部6的第一端与所述真空腔室的外壁连接；所述第一真空部6的第二端与所述第二真空部7的第一端连接，所述第二真空部7的第二端伸出所述回气管4的第二端并与所述进气管1上靠近所述进气管1的第二端的位置连接；所述排气管5的第一端穿过所述第二真空部7和所述回气管4的外壁与所述回气管4上靠近所述回气管4的所述第二端的位置连接，所述排气管5的第二端向外伸出所述第二真空部7的外壁用于将所述气态气体排放到大气中；所述第三真空部8通过所述隔热部9与所述排气管5的外壁连接，所述第三真空部8套设在所述隔热部9的外壁上，所述隔热部9套设在所述排气管5的外壁上，所述第三真空部8的第一端与所述第二真空部7的外壁连接，所述第三真空部8的第二端和所述排气管5的第二端均与所述隔热部9的第一端连接，所述隔热部9的第二端设置在所述第三真空部8内；所述隔热部9用于防止所述第三真空部8的外壁上和所述排气管5的外壁上结霜。

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