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申请/专利权人：哈尔滨化兴软控科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种大尺寸氮化铝晶体生长热场装置，包括炉膛，炉膛的顶部设置有密封板，炉膛的内部设置有金属筒或石墨筒内部碳化钽涂层或内部钽小坩埚，金属筒的内部设置有侧隔热外屏，侧隔热外屏的内部固定连接有侧隔热内屏。本实用新型通过图中为炉膛和密封板固定密封状态，密封板不会因外力的干扰而松动，需要将密封板和炉膛分离时，推动推板向内侧旋转，推板带动齿轮一旋转，齿轮一带动齿轮二旋转，齿轮二带动卡板旋转，卡板压缩弧形弹力板，卡板和密封板分离，密封板失去固定，向上移动密封板，密封板与炉膛分离，炉膛打开完成，具备了稳定密封的优点，热场装置顶部的密封件是固定的，与炉膛之间的固定效果强，提高了热场装置密封安全性。
主权项：1.一种大尺寸氮化铝晶体生长热场装置，包括炉膛1，其特征在于：所述炉膛1的顶部设置有密封板2，所述炉膛1的内部设置有金属筒3，所述金属筒3的内部设置有侧隔热外屏4，所述侧隔热外屏4的内部固定连接有侧隔热内屏5，所述炉膛1内壁的底部固定连接有坩埚支架6，所述坩埚支架6的顶部固定连接有坩埚7，所述坩埚支架6的外侧设置有网状加热器8，所述网状加热器8的顶部电连接有铜电极9，所述坩埚7的顶部设置有中隔热屏10，所述中隔热屏10的顶部设置有上隔热屏11，所述炉膛1表面顶部的四角均设置有紧密机构12。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 哈尔滨化兴软控科技有限公司 一种大尺寸氮化铝晶体生长热场装置
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