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申请/专利权人：陈逵
摘要：本实用新型涉及一种碳化硅外延工艺尾气处理设备用预热装置，属于碳化硅外延工艺的技术领域，其包括设置于柜体内的预热炉和燃烧炉，预热炉的底端与燃烧炉的顶端连接，预热炉包括外壳和内胆，内胆设置于外壳中，内胆与燃烧炉连通，内胆与外壳之间留有降温腔，外壳远离燃烧炉的一端连接有进料管，进料管与降温腔连通，外壳靠近燃烧炉的一端连接有出料管，预热炉配设有用于降温的冷却剂，冷却剂先从进料管进入降温腔而后从出料管离开降温腔。本申请具有延长柜体内电子元件使用寿命的效果。
主权项：1.一种碳化硅外延工艺尾气处理设备用预热装置，包括设置于柜体1内的预热炉2和燃烧炉3，所述预热炉2的底端与燃烧炉3的顶端连接，其特征在于：所述预热炉2包括外壳22和内胆23，所述内胆23设置于外壳22中，所述内胆23与燃烧炉3连通，所述内胆23与外壳22之间留有降温腔24，所述外壳22远离燃烧炉3的一端连接有进料管25，所述进料管25与降温腔24连通，所述外壳22靠近燃烧炉3的一端连接有出料管26，所述预热炉2配设有用于降温的冷却剂，所述冷却剂先从进料管25进入降温腔24而后从出料管26离开降温腔24。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 陈逵 一种碳化硅外延工艺尾气处理设备用预热装置
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