买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

申请/专利权人：敖翔科技股份有限公司

摘要：本发明提供一种智能型坐标转换校正方法，其方法包括：接收集成电路设计公司的IC设计布局图数据；通过缺陷检测机台扫描晶圆以取得缺陷扫描数据，并经过数据处理装置将缺陷扫描数据处理成缺陷文字及影像数据文件。将缺陷影像的单位尺寸及设计布局图的单位尺寸调整成一致；执行坐标转换程序，根据缺陷坐标将缺陷影像的图案的缺陷坐标转换至设计布局图中线路的相对坐标作为第一坐标。及执行坐标校正程序，包括手动比对或自动对准缺陷影像的图案与设计布局图的线路、或经由图形用户接口将缺陷影像的位置在设计布局图的线路上相对的位置标示出新坐标作为第二坐标，以取得校正后的坐标偏差量；基于校正后的坐标偏差量将缺陷坐标校正至第二坐标。

主权项：1.一种智能型坐标转换校正方法，由坐标转换校正系统来执行，所述坐标转换校正系统包括数据处理装置及存储装置，其特征在于，所述智能型坐标转换校正方法包括：提供设计布局图，并储存于所述存储装置中，所述设计布局图中配置复数条线路；执行晶圆制造程序，半导体厂根据所述设计布局图将所述线路形成在晶圆上；执行晶圆缺陷扫描，是通过缺陷检测机台扫描所述晶圆以取得缺陷扫描数据，并将所述缺陷扫描数据经过所述数据处理装置处理成缺陷文字及影像数据文件后，储存于所述存储装置中，其中，所述缺陷文字及影像数据文件包含所述晶圆上的多个缺陷数据，而各所述缺陷数据至少包括缺陷坐标、缺陷尺寸、缺陷面积及缺陷影像的图案的强度值；所述数据处理装置调整单位尺寸，是将所述缺陷影像的单位尺寸及所述设计布局图的单位尺寸调整成一致；所述数据处理装置执行坐标转换程序，是由所述数据处理装置自所述缺陷文字及影像数据文件中，取得所述缺陷影像的图案的缺陷坐标X1,Y1，并根据所述缺陷坐标X1,Y1转换至所述设计布局图中所述线路的相对坐标作为第一坐标X2,Y2；及所述数据处理装置执行坐标校正程序，包括:用户执行手动比对所述缺陷影像的图案与所述设计布局图中所述线路的图案，以手动方式将所述缺陷影像的位置在所述设计布局图的所述线路上相对的位置标示出新的坐标作为第二坐标X2’,Y2’；所述数据处理装置取得校正后的坐标偏差量，是当所述设计布局图上的所述第一坐标X2,Y2与所述第二坐标X2’,Y2’不在同一个坐标位置时，可以由数据处理中心取得所述校正后的坐标偏差量X2’-X2,Y2’-Y2，所述校正后的坐标偏差量X2’-X2,Y2’-Y2包括经过统计分析的平均坐标精度值及坐标精度的标准偏差值；及将所述平均坐标精度值及所述坐标精度的标准偏差值导入所述坐标转换校正系统，为了基于所述校正后的坐标偏差量X2’-X2,Y2’-Y2将所述缺陷坐标X1,Y1校正至所述第二坐标X2’,Y2’。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 敖翔科技股份有限公司 智能型坐标转换校正方法