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申请/专利权人：科磊股份有限公司
摘要：公开一种检验系统。所述检验系统包含经配置以从缺陷检验工具接收图像数据的共享存储器，及通信地耦合到所述共享存储器的控制器。所述控制器包含：主机图像模块，其经配置以使用中央处理单元CPU架构将一或多种通用缺陷检验算法应用于所述图像数据；结果模块，其经配置以产生由所述主机图像模块识别的缺陷的检验数据；及副图像模块，其经配置以将一或多种目标缺陷检验算法应用于所述图像数据。所述副图像模块采用所述图像数据的灵活取样以在选定公差内匹配所述主机图像模块的数据处理速率。响应于由所述结果模块及所述主机图像模块产生的所述检验数据而调整所述图像数据的所述灵活取样。
主权项：1.一种检验系统，其包括：共享存储器，其通信地耦合到缺陷检验工具，其中所述共享存储器经配置以接收由所述缺陷检验工具产生的图像数据；及控制器，其通信地耦合到所述共享存储器，所述控制器包含：主机图像模块，其中所述主机图像模块包含存储在存储器上的程序指令，且经配置以通过一或多个处理器以将一或多种通用缺陷检验算法应用于所述图像数据，其中所述一或多种通用缺陷检验算法经配置以使用中央处理单元CPU架构识别所述图像数据中的多种缺陷类型，其中所述主机图像模块对所述图像数据进行全取样；一或多个副图像模块，其中所述一或多个副图像模块包含存储在存储器上的程序指令，且经配置以通过一或多个处理器以将一或多种目标缺陷检验算法应用于所述图像数据，其中所述一或多种目标缺陷检验算法中的至少一些经定制以识别所述图像数据中的所述多种缺陷类型的目标子集，其中所述一或多个副图像模块采用所述图像数据的灵活取样通过丢弃检验工作以在选定公差内匹配所述主机图像模块的数据处理速率，或标定其中所述目标缺陷检验算法可最有效的所述图像数据的特定区域；及结果模块，其中所述结果模块包含存储在存储器上的程序指令，且其经配置以通过一或多个处理器以产生由所述主机图像模块或所述一或多个副图像模块识别的缺陷的检验数据。
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