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申请/专利权人：ASML荷兰有限公司
摘要：一种光刻设备包括：构造成形成光刻设备的支撑结构的底架、布置在底架与地板之间的主动式底架支撑件。该主动式底架支撑件配置成在底板上支撑底架。该主动式底架支撑件包括致动器，该致动器配置成在底架与地面之间沿水平方向施加力。该光刻设备还包括控制装置，该控制装置配置成驱动致动器，表示该底架上的扰动力的信号被提供至控制装置，该控制装置配置成使用力传感器信号来驱动致动器。
主权项：1.一种光刻设备，包括：底架BF，构造成形成所述光刻设备的支撑结构，主动式底架支撑件ABS，配置成将所述底架支撑在地面GF上，所述主动式底架支撑件包括水平压电致动器HBSA和水平压电力传感器HBSA，所述水平压电致动器配置成在所述底架上沿水平方向施加力，所述水平压电力传感器配置成用于测量所述底架上的水平力，控制装置C，配置成驱动所述水平压电致动器，表示在所述底架上的力F的信号FSI被提供至所述控制装置，所述控制装置被配置成基于表示所述底架上的所述力的所述信号驱动所述水平压电致动器，其中，表示所述底架上的所述力的信号包括所述水平压电力传感器的水平力传感器信号，并且其中，所述水平压电致动器和所述水平压电力传感器被垂直层叠。
全文数据：
权利要求：
百度查询： ASML荷兰有限公司 具有主动式底架支撑件的光刻设备
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