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申请/专利权人：青岛大学
摘要：本发明属于气体传感器技术领域，涉及一种多金属负载氧化钴的多孔复合纳米薄膜制备方法，先通过牺牲模板法直接在叉指电极上合成了三维有序大孔结构的Co3O4薄膜，然后以MeCpPtMe3为铂源，以Rhacac3为铑源，通过原子层沉积技术在合成的Co3O4薄膜上负载贵金属铂和铑，操作流程简单易行，制备过程中采用的金属催化剂具有高度分散性，金属负载量低，适合于批量制备气体传感器，对于气敏薄膜的研制和气体传感器应用具有重要价值。
主权项：1.一种多金属负载氧化钴的多孔复合纳米薄膜制备方法，其特征在于，具体制备过程为：1在叉指电极上制备三维有序大孔结构的Co3O4薄膜；2以MeCpPtMe3为铂源，以Rhacac3为铑源，通过原子层沉积技术在合成的Co3O4薄膜上分别负载贵金属铂和铑，得到Co3O4PtRh多孔薄膜，具体为：2-1将制备好的带有Co3O4薄膜的叉指电极放置在原子层沉积反应室内负载Pt，采用MeCpPtMe3作为Pt的前体反应物，使用臭氧发生器将高纯度O2转化为O3，高纯N2作为载体和吹扫气体，反应室的温度保持在280℃，将MeCpPtMe3保持在75℃，沉积Pt的每一个循环依次包含：1s的MeCpPtMe3脉冲、20s的反应、25s的N2吹扫、1s的O3脉冲、25s的反应以及25s的N2吹扫，分别沉积5-20个循环；将沉积后的样品于400℃下在含有10％H2的ArH2混合气氛中煅烧4h，得到Co3O4Pt薄膜；2-2将制备好的Co3O4Pt薄膜继续放置在原子层沉积反应室内负载Rh，选用Rhacac3作为Rh的前体反应物，O2作为氧化气体，高纯N2作为载体和吹扫气体，反应室的温度保持在275℃，将Rhacac3保持在150℃，沉积Rh的每一个循环依次包含：1s的Rhacac3脉冲、15s的反应、15s的N2吹扫、1s的O2脉冲、10s的反应以及15s的N2吹扫，沉积5-20个循环，得到Co3O4PtRh薄膜。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 青岛大学 一种多金属负载氧化钴的多孔复合纳米薄膜制备方法
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