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申请/专利权人：武汉敏声新技术有限公司
摘要：本发明涉及谐振器技术，具体涉及一种多频段可调谐的三维体声波谐振器，包括衬底、声反射层和压电振荡堆结构；声反射层位于压电振荡堆结构的下方，压电振荡堆结构包括底电极、压电材料层、侧面电极及顶电极；侧面电极和顶电极分别设置于压电材料层侧面和顶部。该器件在给上下、左右、前后三对电极中的一对添加激励信号时，由于压电材料在三个维度上的尺寸不同，即表现为不同的谐振频率；该器件能够将激励信号和直流偏压加载在不同电极对上，且在较低的直流偏压下可以产生较大的位置偏移，进而调整谐振器的谐振频率。通过切换信号加载电极，既可以产生不同的谐振频率，又可以在特定谐振频率附近进行动态调节，扩展体声波谐振器的应用范围。
主权项：1.一种多频段可调谐的三维体声波谐振器，其特征是，包括衬底、声反射层和压电振荡堆结构；声反射层位于压电振荡堆结构的下方，压电振荡堆结构包括下电极、压电材料层、侧面电极及上电极；侧面电极、顶电极以及下电极分别设置于压电材料层侧面、顶部以及底部；其中，所述侧面电极包括左右电极和前后电极，所述上下、左右、前后电极之间相互隔离；其中，在所述上、下电极之间施加激励信号；所述左右、前后电极之间可施加激励信号或者直流偏压。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 武汉敏声新技术有限公司 一种多频段可调谐的三维体声波谐振器
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