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申请/专利权人：JSR株式会社
摘要：本发明是一种感光性树脂组合物，含有聚合性化合物A、光自由基聚合引发剂B、硫醇化合物C、以及聚合抑制剂D，且硫醇化合物C的含量相对于聚合性化合物A100质量份而为5质量份～50质量份，聚合抑制剂D的含量相对于聚合性化合物A100质量份而为1质量份～10质量份。本发明可提供一种在明视场与暗视场两者中曝光量宽容度EL宽的感光性树脂组合物。可提供一种使用感光性树脂组合物能够在明视场与暗视场两者中精度佳地形成微细抗蚀剂图案的抗蚀剂图案的形成方法。可提供一种使用通过抗蚀剂图案的形成方法所形成的抗蚀剂图案能够制造精度佳、微细的镀覆造形物的镀覆造形物的制造方法。
主权项：1.一种感光性树脂组合物，其特征在于，含有：聚合性化合物A、光自由基聚合引发剂B、硫醇化合物C、以及聚合抑制剂D，且所述硫醇化合物C的含量相对于所述聚合性化合物A100质量份为5质量份～50质量份，所述聚合抑制剂D的含量相对于所述聚合性化合物A100质量份为1质量份～10质量份，相对于所述硫醇化合物C100质量份，所述聚合抑制剂D的含量为20质量份～80质量份，所述硫醇化合物C为多官能硫醇化合物C-1，所述聚合抑制剂D为酚系聚合抑制剂D-1。
全文数据：
权利要求：
百度查询： JSR株式会社 感光性树脂组合物、抗蚀剂图案的形成方法、以及镀覆造形物的制造方法
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