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申请/专利权人：君原电子科技(海宁)有限公司
摘要：本发明公开了一种氮化铝陶瓷静电卡盘用钼浆及其制备方法，属于静电卡盘技术领域，所述钼浆按照质量百分比包括：70％～85％的钼粉、5～10％的氮化铝粉、10％～20％的有机载体；所述方法包括以下步骤：步骤一：将钼粉、氮化铝粉和松油醇按比例称量后放入球磨罐中，加入适量的分散剂和松油醇后进行球磨处理，得到钼浆分散液；步骤二：将粘结剂、增塑剂和溶剂，按照比例称量后放入搅拌溶解容器中进行搅拌，搅拌至粘结剂完全溶解，均匀分散降温后密封保存；步骤三：将上述步骤二中的密封保存的液体按照比例加入步骤一中得到的钼浆分散液中，进行球磨处理，将球磨混合后的浆料，倒入三辊轧磨机，进行6～9次扎磨，制得钼浆。
主权项：1.一种氮化铝陶瓷静电卡盘用钼浆，其特征在于，按照质量百分比，所述钼浆包括：70％～85％的钼粉、5～10％的氮化铝粉、10％～20％的有机载体。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 君原电子科技(海宁)有限公司 一种氮化铝陶瓷静电卡盘用钼浆及其制备方法
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