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一种具有级联倍增效果的雪崩光电探测器 

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申请/专利权人:NANO科技(北京)有限公司

摘要:本发明公开一种具有级联倍增效果的雪崩光电探测器,包括:顶电极、顶电极接触层、吸收区、电荷区、倍增区、底电极接触层、衬底以及底电极。倍增区包括:加速倍增区,由至少一个子倍增区组成,用于加速电子;雪崩倍增区,位于加速倍增区下表面,用于加速电子并使电子发生雪崩倍增。本申请将传统倍增层分为两个或多个子倍增区,子倍增区分为位于前列的子倍增区以及位于最后的雪崩倍增区,在位于前列的子倍增区内进行电子加速,不占用倍增时间,不会降低带宽,并使电子只在位于最后的雪崩倍增区内发生雪崩,以实现探测器倍增效果与带宽之间的平衡,同时还可以减小额外噪声,提高雪崩光电探测器的灵敏度。

主权项:1.一种具有级联倍增效果的雪崩光电探测器,包括:吸收区;其特征在于,还包括:位于所述吸收区下表面的倍增区;所述倍增区包括:加速倍增区,由至少一个子倍增区组成,用于加速电子;雪崩倍增区,位于所述加速倍增区下表面,用于加速电子并使电子发生雪崩倍增;其中,所述子倍增区与所述雪崩倍增区的顶部均进行离子注入以形成用于调控所述倍增区电场的电荷区,以使得所述雪崩倍增区的电场>所述加速倍增区的电场>所述吸收区的电场。

全文数据:

权利要求:

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