买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!
申请/专利权人:长春理工大学中山研究院
摘要:本申请提供了一种基于蛾眼结构的微透镜阵列的制备方法,所述方法通过提供基片,共面三光束激光干涉光路以及聚二甲基硅氧烷;在所述基片表面均匀涂覆一层厚度为1.4μm的光刻胶,形成第一胶层;将所述第一胶层放置于100℃的热板上1min,得到固化的第一胶层;利用所述共面三光束激光干涉光路,对所述固化的第一胶层进行曝光,得到双周期光栅结构;将所述双周期光栅结构旋转特定角度,利用所述共面三光束激光干涉光路,对旋转后的所述双周期光栅结构进行曝光,得到蛾眼结构;对所述蛾眼结构进行1min的显影,形成具有微透镜阵列图形的目标模板;利用所述聚二甲基硅氧烷,对所述目标模板进行倒模,得到微透镜阵列。根据所述方法能够提高微透镜阵列的透射率。
主权项:1.一种基于蛾眼结构的微透镜阵列的制备方法,其特征在于,包括:提供基片,共面三光束激光干涉光路以及聚二甲基硅氧烷;在所述基片表面均匀涂覆一层厚度为1.4μm的光刻胶,形成第一胶层;将所述第一胶层放置于100℃的热板上1min,得到固化的第一胶层;利用所述共面三光束激光干涉光路,对所述固化的第一胶层进行曝光,得到双周期光栅结构;将所述双周期光栅结构旋转特定角度,利用所述共面三光束激光干涉光路,对旋转后的所述双周期光栅结构进行曝光,得到蛾眼结构;对所述蛾眼结构进行1min的显影,形成具有微透镜阵列图形的目标模板;利用所述聚二甲基硅氧烷,对所述目标模板进行倒模,得到微透镜阵列。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 长春理工大学中山研究院 一种基于蛾眼结构的微透镜阵列的制备方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。