龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：应用材料公司
摘要：提供一种在半导体基板之上形成特征的方法。所述方法包括以连续的流率在基板表面之上供应气体混合物。第一射频RF信号被输送至电极，同时以连续的流率供应气体混合物，以在基板表面之上沉积聚合物层。基板表面包括含氧化物部分及含氮化物部分。第二RF信号被输送至电极，同时以连续的流率连续地供应气体混合物，以相对于含氮化物部分选择性地蚀刻含氧化物部分。
主权项：1.一种在半导体基板之上形成特征的方法，包含以下步骤：以连续的流率在基板的表面之上供应气体混合物；将第一射频RF信号输送至电极，同时以连续的流率供应所述气体混合物，以在所述基板的所述表面之上沉积聚合物层，其中所述基板的所述表面包含含氧化物部分和含氮化物部分；和将第二RF信号输送至所述电极，同时以所述连续的流率连续地供应所述气体混合物，以相对于所述含氮化物部分选择性地蚀刻所述含氧化物部分。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 应用材料公司 电极调谐、沉积与蚀刻方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号