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一种含韧性基底的复合薄膜材料电镜样品的制备方法 

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申请/专利权人:泛锐云智科技(郑州)有限公司

摘要:本发明属于电镜样品制备领域,具体涉及一种含韧性基底的复合薄膜材料电镜样品的制备方法。由于复合薄膜材料中韧性基底不易液氮脆断,而常规机械切割方法易造成复合薄膜材料的挤压变形,难以呈现真实的断口组织,制样难度较大,基于此,本申请采用对韧性基底层进行预切割,并在预切割位置处利用碱液进行刻蚀,同时在高温高湿环境下加快碱液对基底层的刻蚀速率,增加基底层的脆性,再经液氮冷冻后,即可轻易地将复合薄膜材料于预切割位置处进行脆断,解决了含韧性基底复合薄膜材料制样难度大的问题,制样方法简单易行。

主权项:1.一种含韧性基底的复合薄膜材料电镜样品的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:S1:在复合薄膜材料的韧性基底层上进行预切割,切割深度不超过韧性基底层厚度的12;S2:在韧性基底层的切割位置处滴加碱液,于高温高湿环境中静止5~15min;S3:将步骤S2处理后的复合薄膜材料用水清洗后干燥,将干燥的薄膜材料浸没于液氮5~20min后取出,于预切割位置处脆断制得电镜试样。

全文数据:

权利要求:

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