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申请/专利权人：福建金石能源有限公司
摘要：本发明公开一种异质结太阳能电池的铜电极制备方法，采用N型硅片作为衬底，经过双面制绒、双面沉积非晶硅层形成PN结、双面沉积透明减返导电膜、双面沉积金属种子层，在双面金属种子层表面覆盖第一层感光膜，经过第一次曝光后，在正面第一层感光膜表面继续覆盖第二层感光膜，在正面第一次曝光的图形重合位置继续完成第二次曝光，经过显影工艺洗掉栅线图形区域，形成凹槽，露出凹槽底部的金属种子层，经过电镀铜工艺形成铜金属栅线，再采用退膜液去除栅线区域之外的感光膜，最后蚀刻栅线区域外的金属种子层，保留铜电极栅线，解决了提高正面栅线高宽比低的工艺难题，可以实现正面栅线又高又窄的目的，提高电池效率。
主权项：1.一种异质结太阳能电池的铜电极制备方法，其特征在于：采用N型硅片作为衬底，经过双面制绒、双面沉积非晶硅层形成PN结、双面沉积透明减返导电膜、双面沉积金属种子层，在双面沉积金属种子层的表面覆盖第一层感光膜，经过第一次曝光后，在正面第一层感光膜表面继续覆盖第二层感光膜，在正面第一次曝光的图形重合位置继续完成第二次曝光，经过显影工艺洗掉栅线图形区域，形成凹槽，露出凹槽底部的金属种子层，经过电镀铜工艺形成铜金属栅线，再采用退膜液去除栅线区域之外的感光膜，最后蚀刻栅线区域外的金属种子层，保留铜电极栅线。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 福建金石能源有限公司 一种异质结太阳能电池的铜电极制备方法
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