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申请/专利权人：绍兴圆炬科技有限公司
摘要：本发明公开了一种用于芯片转印的激光设备及其控制方法，具体涉及半导体光电技术领域，包括主体和位于主体内部设置的安装板，还包括支撑机构，支撑机构上安装有临时载板与目标基板，用于对临时载板与目标基板进行支撑限位。本发明通过辅助剥离机构的设置，在对芯片进行转印的过程中，可以对临时载板进行吹气和吸气，一方面使临时载板产生气泡，并对芯片进行挤压，防止芯片掉落时出现位置偏移，避免影响芯片与目标基板之间的连接质量，节省能源消耗；另一方面可以对气泡进行吸气，使得气泡可以迅速恢复，从而提高转移效率，避免影响相邻的芯片发生倾斜，从而提高转移良率。
主权项：1.一种用于芯片转印的激光设备，包括主体（1）和位于主体（1）内部设置的安装板（11），其特征在于，还包括：支撑机构（2），所述支撑机构（2）上安装有临时载板（12）与目标基板（13），用于对临时载板（12）与目标基板（13）进行支撑限位；激光剥离机构（3），所述激光剥离机构（3）设置在安装板（11）的上方，用于对临时载板（12）发射激光光束；移动机构（4），所述移动机构（4）设置在安装板（11）的上方，所述支撑机构（2）设置在移动机构（4）的上方，用于调整临时载板（12）和目标基板（13）与激光光束照射的位置；辅助剥离机构（5），所述辅助剥离机构（5）设置在激光剥离机构（3）的下方，所述辅助剥离机构（5）包括环形套（51），所述环形套（51）的底部固定连接有发射针头（52），用于对被激光光束照射后的临时载板（12）进行吹气和吸气。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 绍兴圆炬科技有限公司 一种用于芯片转印的激光设备及其控制方法
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