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申请/专利权人：北京航空航天大学合肥创新研究院
摘要：本申请提供了一种磁控溅射样本旋转控制装置及设备，所述装置包括底座、连接轴、供电基座、固定背板以及旋转台；所述底座中设置有电机，所述电机的输出轴与所述连接轴连接；所述连接轴与所述固定背板和所述旋转台分别固定连接，所述电机通过所述连接轴带动所述固定背板和所述旋转台转动；所述供电基座通过导电结构与所述固定背板和所述旋转台滑动连接，对所述旋转台施加偏压。本申请可保证薄膜的均匀性和致密性。
主权项：1.一种磁控溅射样本旋转控制装置，其特征在于，包括底座、连接轴、供电基座、固定背板以及旋转台；所述底座中设置有电机，所述电机的输出轴与所述连接轴连接；所述连接轴与所述固定背板和所述旋转台分别固定连接，所述电机通过所述连接轴带动所述固定背板和所述旋转台转动；所述供电基座通过导电结构与所述固定背板和所述旋转台滑动连接，对所述旋转台施加偏压。
全文数据：
权利要求：
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