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一种微波等离子体腔体炉门下置式结构 

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申请/专利权人:成都稳正科技有限公司

摘要:本实用新型公开了一种微波等离子体腔体炉门下置式结构,解决了金刚石生长腔清洁困难以及金刚石放置易排列错乱的技术问题。本实用新型包括包括支撑架,设于支撑架上的金刚石生长腔,设于支撑架上的水平移动机构,设于水平移动机构上的升降机构,设于升降机构上并能通过升降机构进入或退出金刚石生长腔的水冷台,以及设于水冷台上用于金刚石生长承托的钼托。本实用新型将金刚石放置于生长腔内的过程中,无需人为手持钼托,避免了人手抖动导致的金刚石排列错乱的问题;水冷台和钼托可整体从生长腔内取出,水冷台清洁方便,通过敞开的安装通孔对生长腔内部进行清洁,生长腔清洁方便。

主权项:1.一种微波等离子体腔体炉门下置式结构,其特征在于,包括支撑架1,设于支撑架1上的金刚石生长腔2,设于支撑架1上的水平移动机构,设于水平移动机构上的升降机构,设于升降机构上并能通过升降机构进入或退出金刚石生长腔2的水冷台6,以及设于水冷台6上用于金刚石生长承托的钼托7。

全文数据:

权利要求:

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