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申请/专利权人：先导薄膜材料(广东)有限公司
摘要：本实用新型属于靶材测量设备技术领域，涉及一种翘曲度测量装置及辅助工装。翘曲度测量装置包括：工作段，工作段的长度方向为第一方向，工作段的下端面为工作面；定位段，定位段和工作段沿第一方向依次设置，定位段固定在工作段的一端，定位段下端面设有避让槽；测量表，测量表固定在工作段上，测量表的测量端伸出工作面后与待测工件抵接。本实用新型通过在定位段下端面设置避让槽，能够将工作段伸入到靶材内壁，避免工作段接触大尺寸靶材底部变形严重的区域，实现大尺寸靶材的测量，测量效率高。本实用新型另外还提供一种辅助工装，能够支撑被测量的靶材，且方便被测量的靶材转动，有助于快速完成同一周向多个测量点的测量。
主权项：1.一种翘曲度测量装置，其特征在于，包括：工作段（1），工作段（1）的长度方向为第一方向，工作段（1）的下端面为工作面（2）；定位段（3），定位段（3）和工作段（1）沿第一方向依次设置，定位段（3）固定在工作段（1）的一端，定位段（3）下端面设有避让槽（4）；测量表（5），测量表（5）固定在工作段（1）上，测量表（5）的测量端伸出工作面（2）后与待测工件抵接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 先导薄膜材料(广东)有限公司 一种翘曲度测量装置及辅助工装
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