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申请/专利权人：苏州经贸职业技术学院
摘要：本实用新型公开了一种晶圆低温键合收容器，涉及低温键合技术领域，该收容器包括箱体，所述箱体的内顶部固定设有固定座，所述固定座的底部固定设有液压杆，所述液压杆的输出端固定连接有夹具，所述夹具的顶端固定设有收容器本体，通过液压杆控制夹具的收缩能够使得收容器本体相互靠近或远离，实现对两个晶圆的键合，所述收容器本体内固定设有吸附晶圆使晶圆固定的吸附机构，所述吸附机构使得收容器本体内形成负压，方便对收容器本体上安装的晶圆进行固定，所述收容器本体内连接有使收容器本体处于真空的抽吸机构，所述抽吸机构能够对两个收容器本体内的空气进行抽吸，尽量避免晶圆键合时内部存在气泡。
主权项：1.一种晶圆低温键合收容器，包括箱体100，所述箱体100的内顶部固定设有固定座101，所述固定座101的底部固定设有液压杆102，所述液压杆102的输出端固定连接有夹具103，所述夹具103的顶端固定设有收容器本体104，其特征在于，所述收容器本体104内固定设有吸附晶圆使晶圆固定的吸附机构300，所述收容器本体104内连接有使收容器本体104处于真空的抽吸机构200。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州经贸职业技术学院 一种晶圆低温键合收容器
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