龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：江苏南大光电材料股份有限公司
摘要：本发明涉及半导体级二乙基乙氧基铝的制备方法，先在无水无氧惰性气氛保护下，去除正己烷溶剂；再减压精馏，收集中间馏分；在低温条件下，用高纯无水的正己烷对其进行多次洗涤；继而常温常压蒸馏；加钾钠合金除硅剂，搅拌，高温回流；最后减压精馏，收集中间馏分。先通过常压蒸馏与减压精馏操作，去除了绝大部分的有机杂质和无机杂质；再通过正己烷多次洗涤去除微量有机杂质，蒸馏后采用钾钠合金除硅剂高温回流吸附微量的硅杂质，最后经减压精馏，取中馏分，最终得到高纯的二乙基乙氧基铝；可除去二乙基乙氧基铝中的有机杂质，所有的无机杂质含量＜1ppm，获得的二乙基乙氧基铝纯度、颗粒度均较好满足半导体行业的产品要求。
主权项：1.半导体级二乙基乙氧基铝的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：1在无水无氧惰性气氛保护下，去除正己烷溶剂；在无水无氧的惰性气氛手套箱中，将二乙基乙氧基铝正己烷溶液装入圆底烧瓶中，常压下采用刺形蒸馏柱对其进行蒸馏，去除原料中的正己烷溶剂；2减压精馏，收集中间馏分；在惰性气氛手套箱中，采用含有θ型不锈钢填料的精馏柱对二乙基乙氧基铝进行减压精馏，去除低沸点馏分和高沸点杂质，收集中间段馏分；3在低温条件下，用高纯无水的正己烷对其进行多次洗涤；在惰性气氛手套箱中，室温条件下，高纯无水的正己烷与中间段的二乙基乙氧基铝馏分进行搅拌，搅拌后，使温度降至-30℃左右，使二乙基乙氧基铝析出，由液态变为固态，倒出正己烷溶剂；4常温常压蒸馏；在惰性气氛手套箱中，待夹套瓶恢复至室温，将其中的二乙基乙氧基铝倒入圆底烧瓶中，常压下采用刺形蒸馏柱对其进行蒸馏，去除其中的正己烷溶剂；5加钾钠合金除硅剂，搅拌，高温回流；圆底烧瓶中加入钾钠合金除硅剂，加入磁力搅拌子，加热搅拌，高温回流，吸附微量的硅杂质；6减压精馏，收集中间馏分在惰性气氛手套箱中，采用含有θ型不锈钢填料的精馏柱对二乙基乙氧基铝进行减压精馏，去除低沸点馏分和高沸点杂质，收集中间段馏分，最终得到超高纯的二乙基乙氧基铝。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏南大光电材料股份有限公司 半导体级二乙基乙氧基铝的制备方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号