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申请/专利权人：ASML荷兰有限公司
摘要：描述了一种与自适应权重图进行图像模板匹配的方法。图像模板设置有权重图，所述权重图基于在模板匹配期间基于所述图像模板在所述图像上的位置而被自适应地更新。描述一种在组合模板中模板匹配伪影或分组图案的方法，其中所述图案包括比所述图像模板加权得更少的不强调区域。描述一种基于合成图像产生图像模板的方法。所述合成图像可以基于过程和图像建模来产生。描述一种选择分组图案或伪影和产生组合模板的方法。描述一种每层图像模板匹配的方法。
主权项：1.一种方法，包括：获取包括来自多个过程层的信息的图像；获取用于所述多个过程层的图像模板；获取所述图像模板的权重图；以及通过根据模板匹配过程至少部分地基于所述权重图将所述图像模板匹配于所述图像上的位置来比较所述图像和所述图像模板。
全文数据：
权利要求：
百度查询： ASML荷兰有限公司 基于具有自适应加权的模板匹配的重叠量测
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