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申请/专利权人：北京理工大学

摘要：本发明提供了一种兼容多种类样品的超高真空储存与转移装置，其包括超高真空转移系统和超高真空存储系统；超高真空转移系统包括真空转移腔体、固定底座、升降台、转移系统运输架、第一CF100闸板阀、CF35闸板阀和小型离子泵；超高真空存储系统包括真空储存腔体、存储系统运输架、中转腔体、大型离子泵、多兼容磁力储样台、分子泵、第二CF100闸板阀和全量程真空计；超高真空转移系统与超高真空储存系统之间是通过第一CF100闸板阀与第二CF100闸板阀的配合连接实现可拆卸式连接。本发明结构设计合理、紧凑，实现了不同规格样品在不同设备间的转移和设备之外的存储，保证了样品的高度清洁、转移的可行性与便捷性。

主权项：1.一种兼容多种类样品的超高真空储存与转移装置，其特征在于：所述超高真空储存与转移装置包括超高真空转移系统A和超高真空存储系统B；所述超高真空转移系统A位于所述超高真空存储系统B一端内侧并与其可拆卸式连接；所述超高真空转移系统A包括真空转移腔体A2、固定底座A3、升降台A4、转移系统运输架A5和小型离子泵A7；所述转移系统运输架A5为可移动式运输架；所述升降台A4匹配安装于所述转移系统运输架A5上部；所述固定底座A3匹配安装于所述升降台A4上部；所述真空转移腔体A2匹配可拆卸式滑动安装于所述固定底座A3上部；所述真空转移腔体A2上还分别匹配安装有第一CF100闸板阀A8和CF35闸板阀A6；所述多兼容磁力传样杆A1的一端与所述真空转移腔体A2匹配连接且头部伸入所述真空转移腔体A2内部；所述小型离子泵A7匹配安装于所述CF35闸板阀A6上；所述超高真空存储系统B包括真空储存腔体B1、存储系统运输架B3、中转腔体B5和大型离子泵B6；所述存储系统运输架B3为可移动式运输架，其位于所述转移系统运输架A5一端内侧并与其可拆卸式连接；所述真空储存腔体B1匹配安装于所述存储系统运输架B3上部，其上部匹配安装有多兼容磁力储样台B2，下部匹配安装有大型离子泵B6，面向所述超高真空转移系统A的一侧匹配安装有第二CF100闸板阀B4；所述多兼容磁力储样台B2用于接收所述多兼容磁力传样杆A1运送的样品；所述大型离子泵B6匹配设置在所述存储系统运输架B3下部内侧并与所述真空储存腔体B1匹配连接；所述中转腔体B5通过所述第二CF100闸板阀B4与所述真空储存腔体B1相连接；所述中转腔体B5上还匹配安装有用于监测其内部真空度变化的全量程真空计B8,所述中转腔体B5的下部匹配安装有分子泵B7；所述超高真空转移系统A与所述超高真空储存系统B之间是通过所述第一CF100闸板阀A8与第二CF100闸板阀B4的配合连接实现可拆卸式连接。

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