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申请/专利权人：北京大学
摘要：本发明公开一种超低功耗控制金属纳米材料表面凸起物的方法，属于纳电子学领域。本发明将中间间隙为纳米尺度的金属电极对先预制成两端器件，采用半导体参数分析仪及配套的探针台，对金属纳米间隙进行电流‑电压I‑V扫描，然后将电流限流在pA量级，实现纳米线表面的三维金属凸起物的产生和消失。本发明可以实现三维纳米尺度的金属结构在纳电子学领域中的应用。
主权项：1.一种控制金属纳米材料表面凸起物的方法，其步骤包括：1在衬底上制备中间间隙为纳米尺度的金属电极对样品；2将金属电极对样品放置于探针台表面，纳米间隙的两端电极极板与探针接触，两探针通过导线连接至半导体参数分析仪的两个端口上，保证良好的电学连接；3用半导体参数分析仪以1mVs-100mVs的速度对原始样品施加从零伏开始的正向扫描电压，当电阻-电压曲线经过一定电压范围的噪声电流之后，电流曲线抬起上升至1pA-100pA的限流值，停止施加电压，在作为阳极的电极靠近间隙的末端有凸起产生，高度范围在5nm-50nm之间；4用半导体参数分析仪以1mVs-100mVs的速度对原始样品施加从零伏开始的负向扫描电压，当电阻-电压曲线经过一定电压范围的噪声电流之后，电流曲线突然上升至-2--200pA，然后以渐降曲率的方式下落，当曲率在渐变为零的转折点处停止施加电压，停止施加电压，在作为阳极的电极靠近间隙的末端的凸起消失。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京大学 一种超低功耗控制金属纳米材料表面凸起物的方法
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