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申请/专利权人：宁波大学
摘要：本发明公开的基于铌酸锂和硫系玻璃材料的光栅耦合器包括光纤以及自下而上依次设置的衬底层、铌酸锂薄膜层和硫系玻璃波导层，光纤倾斜设置在硫系玻璃波导层的上方，硫系玻璃波导层包括条形波导和扇形波导，条形波导与扇形波导的窄端宽度相等且相连，扇形波导上刻蚀有周期性结构的布拉格光栅，其刻蚀深度与硫系玻璃波导层的厚度相等，布拉格光栅由多个同心且交替设置的圆弧形的光栅齿和空气槽组成，沿扇形波导的窄端到宽端方向，多个光栅齿的半径依次增大。该光栅耦合器的结构稳定性好，耦合效率高，在波长1550nm处，测量获得的耦合效率为‑30dB～‑28dB；该光栅耦合器的制备方法对制备工艺要求相对较低，有利于大规模生产和制备。
主权项：1.基于铌酸锂和硫系玻璃材料的光栅耦合器，其特征在于，包括光纤以及自下而上依次设置的衬底层、铌酸锂薄膜层和硫系玻璃波导层，所述的光纤倾斜设置在所述的硫系玻璃波导层的上方，所述的铌酸锂薄膜层的材料为铌酸锂，所述的硫系玻璃波导层的材料为硫系玻璃，所述的硫系玻璃波导层的厚度为370nm～400nm，所述的硫系玻璃波导层包括条形波导和扇形波导，所述的条形波导与所述的扇形波导的窄端宽度相等且相连，所述的扇形波导上刻蚀有周期性结构的布拉格光栅，所述的布拉格光栅的刻蚀深度与所述的硫系玻璃波导层的厚度相等，所述的布拉格光栅由多个同心且交替设置的圆弧形的光栅齿和空气槽组成，沿所述的扇形波导的窄端到宽端方向，多个所述的光栅齿的半径依次增大。
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百度查询： 宁波大学 基于铌酸锂和硫系玻璃材料的光栅耦合器及其制备方法
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