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申请/专利权人：应用材料股份有限公司
摘要：公开一种具有增加的等离子体电位的间热式阴极离子源。在某些实施例中，提取板在比电弧腔室的主体更高的电压处偏置以实现较高等离子体电位。屏蔽电极可用以去除偏置提取板与等离子体之间的相互作用。电弧腔室的横截面可为圆形或接近圆形以促进电子在腔室中的旋转。在另一实施例中，偏置电极可在高度方向上在腔室中安置在提取孔的相对侧上。在一些实施例中，仅电极中的一个在大于电弧腔室的主体的电压处偏置。
主权项：1.一种离子源，包括：腔室，包括：主体，包括第一端、第二端、底部以及多个壁；间热式阴极，安置在所述腔室的第一端处；提取板，包括具有宽度和高度的提取孔，离子经由所述提取孔提取，所述提取板与所述主体电隔离，其中所述主体和所述提取板形成封闭容积；一或多个屏蔽电极，安置在邻近于所述提取板且不与所述提取板物理接触的所述封闭容积中，且电连接到所述主体，以及提取电源，与所述提取板连通，其中所述提取板相对于所述主体正偏置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 应用材料股份有限公司 环状运动加强型离子源
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