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申请/专利权人：朗姆研究公司
摘要：一种衬底处理系统包括N个阀系统，其分别连接到N个站。每个阀系统包含：歧管块体、多个阀和流量控制设备。歧管块体包含接收处理气体和惰性气体的入口、连接至站的出口、以及被配置在所述歧管块体内并连接至所述入口和所述出口的多个气体流动通道。所述阀被安装至所述歧管块体并控制流过所述出口的所述处理气体和所述惰性气体的流量。所述流量控制设备被安装至所述歧管块体并控制流过所述歧管块体而到达所述N个站中的一站内的所述惰性气体的流量。所述N个阀系统中的每一个的所述流量控制设备被校准以平衡所述N个站中的所述惰性气体的所述流量。
主权项：1.一种衬底处理系统，其包含：N个站，其被配置成在衬底上执行处理，其中N为大于1的整数；以及N个阀系统，其分别连接至所述N个站；其中所述N个阀系统中的每一个包含:歧管块体，其包含接收处理气体和惰性气体的入口、连接至所述N个站中的一站的出口、以及被配置在所述歧管块体内并连接至所述入口和所述出口的多个气体流动通道；多个阀，其被安装至所述歧管块体并被配置成控制流过所述出口的所述处理气体和所述惰性气体的流量；以及流量控制设备，其被安装至所述歧管块体并被配置成控制流过所述歧管块体而到达所述N个站中的一站内的所述惰性气体的流量；以及其中所述N个阀系统中的每一个的所述流量控制设备被校准以平衡所述N个站中的所述惰性气体的所述流量。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 朗姆研究公司 用于平衡流向衬底处理系统的多个站的气体流量的阀系统
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