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AlN单晶板 

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申请/专利权人:日本碍子株式会社

摘要:AlN单晶板具有厚度方向上的第一面、以及与第一面对置的第二面。AlN单晶板在第一面与第二面之间的中间部,与第一面大致平行地存在分散地导入有多个金属成分的含金属成分区域。

主权项:1.一种AlN单晶板,是具有厚度方向上的第一面以及与所述第一面对置的第二面的AlN单晶板,其中,在所述第一面与所述第二面之间的中间部,与所述第一面大致平行地存在只将粒子状的金属成分Ga分散地导入的含金属成分区域,在所述含金属成分区域内,相邻的所述金属成分间的距离为1μm以上且300μm以下。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 日本碍子株式会社 AlN单晶板

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