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申请/专利权人：长春理工大学
摘要：一种大视场光刻扫描物镜，为193nm波段光刻扫描的刻线均匀性以及效率问题提供一种解决方法。包括光阑、第一透镜组和第二透镜组，从物侧至像侧方向上，光阑、第一透镜组、第二透镜组沿光的轴线方向依次排布；所述第一透镜组包括：从物侧至像侧方向上依此分布的第一透镜至第九透镜；第一透镜为平凸透镜，所述第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜、第六透镜、第八透镜为弯月透镜，所述第七透镜、第九透镜为双凸透镜；所述第二透镜组包括：从物侧至像侧方向上依此分布的第十透镜至第十五透镜；其中，所述第十透镜、第十一透镜、第十三透镜、第十四透镜、第十五透镜为弯月透镜，第十二透镜为双凸透镜。
主权项：1.一种大视场光刻扫描物镜，其特征在于，所述大视场光刻扫描物镜包括光阑（0）、第一透镜组（01）和第二透镜组（02），从物侧至像侧方向上，光阑（0）、第一透镜组（01）和第二透镜组（02）沿光的轴线方向依次排布；所述第一透镜组（01）包括：从物侧至像侧方向上依此分布排列的第一透镜（1）、第二透镜（2）、第三透镜（3）、第四透镜（4）、第五透镜（5）、第六透镜（6）、第七透镜（7）、第八透镜（8）和第九透镜（9），其中，所述第一透镜（1）为平凸透镜，所述第二透镜（2）、第三透镜（3）、第四透镜（4）、第五透镜（5）、第六透镜（6）和第八透镜（8）为弯月透镜，所述第七透镜（7）和第九透镜（9）为双凸透镜；所述第二透镜组（02）包括：从物侧至像侧方向上依此分布排列的第十透镜（10）、第十一透镜（11）、第十二透镜（12）、第十三透镜（13）、第十四透镜（14）和第十五透镜（15），其中，所述第十透镜（10）、第十一透镜（11）、第十三透镜（13）、第十四透镜（14）和第十五透镜（15）为弯月透镜，第十二透镜（12）为双凸透镜。
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百度查询： 长春理工大学 一种大视场光刻扫描物镜
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